Лазерный интерференционный измерительный комплекс для высокоточного оптического контроля

Научная библиотека Комментариев к записи Лазерный интерференционный измерительный комплекс для высокоточного оптического контроля нет

А.Г. Полещук, Р.К. Насыров, A.Е. Маточкин, В.В. Черкашин, В.Г. Максимов, В.А. Тартаковский, Институт автоматики и электрометрии СО РАН // материалы конференции Прикладная оптика-2010, с:129-136

Представлено описание измерительного комплекса для высокоточного оптического бесконтактного контроля на базе лазерного интерферометра Физо и программного обеспечения. Комплекс предназначен для лабораторного контроля изделий на оптических предприятиях. Программное обеспечение позволяет восстановить форму оптической детали из интерферограмм.

Ведение.
Качество изготовления оптических поверхностей определяется методами их контроля. При создании современных высокоточных оптических устройств, таких как установки для микрофотолитографии, лазерные системы, рентгеновские и оптические телескопы, требуется контролировать качество поверхностей с точностью до единиц и даже долей нанометра. При этом площадь контролируемой поверхности может составлять несколько квадратных метров. Для проведения измерений такого рода применяется интерферометрический метод. Такой метод основан на интерференции между опорной волной, которая отражается от эталонной поверхности и объектной волны, которая отражается от поверхности
контролируемой детали [1]. По возникающей интерференционной картине определяется карта ошибок волнового фронта. Ошибки волнового фронта линейно соотносятся с ошибками изготовления контролируемой поверхности. Соответственно, после того как ошибки изготовления определены, они могут быть исправлены.
Сферические и плоские поверхности контролируются обычными интерферометрами Физо [2]. Для контроля асферических поверхностей требуется формирование эталонного асферического волнового фронта. В последние годы для формирования таких волновых фронтов стали широко применяться компьютерно-синтезированные голограммы (СГ) – корректоры волнового фронта [3]. Применение СГ имеет ряд особенностей, таких как наличие паразитных дифракционных порядков, низкая дифракционная эффективность, требуемая высокая точность юстировки относительно интерферометра и контролируемой поверхности и др. [4]. Применение СГ совместно с коммерческими интерферометрами не всегда позволяет учесть эти факторы, что приводит к снижению точности измерений, а иногда и к получению ошибочного результата.
В настоящей работе приводятся результаты разработки и создания лазерного измерительного комплекса для высокоточного оптического контроля на основе интерферометра Физо, типа FTI-100 (разработанного в ИАиЭ СО РАН совместно с ЗАО «Дифракция»).
Лазерный измерительный комплекс.

Лазерный измерительного комплекс для высокоточного оптического контроля состоит из следующих основных частей: оптико-механического блока интерферометра, блока фазового сдвига, программного обеспечения управления интерферометром и анализа, расшифровки и обработки интерферограмм.

Полное содержание статьи: http://www.oop-ros.org/maket/part1/ref1_2/1.4.15.pdf

Рекомендуем для Вас

Leave a comment

You must be logged in to post a comment.


© Интернет журнал "ЛАЗЕРНЫЙ МИР", 2019
Напишите нам:
laser.w@yandex.ru

Back to Top