Лазерный интерференционный профилограф

Научная библиотека Комментариев к записи Лазерный интерференционный профилограф нет

Н. Н. Евтихиев, Ю. А. Снежко, В. П. Тычинский, Г. Р. Левинсон, В. П. Захаров // Квантовая электроника, 4:1 (1977), 69–75 [Sov J Quantum Electron, 7:1 (1977), 36–39] , УДК 621.378:534.676

Сообщается о разработке лазерного интерферометра с пространственным разрешением 15–30 мкм для измерения волнистости и отклонения формы поверхности 11–14 класса чистоты. Приводятся профилограммы различных объектов. Дается анализ влияния дестабилизирующих факторов на точность измерений.

Laser interferometric profilograph
N N Evtikhiev, Yu A Snezhko, V P Tychinskiĭ, G R Levinson and V P Zakharov

A report is given of the development of a laser interferometer with a spatial resolution of 15–30μ. designed to measure waviness and deviations from the desired shape of surfaces with class 11–14 finish. Profilograms of various objects are given. The influence of destabilizing factors on the precision of the measurements is analyzed.

В последнее время, благодаря применению лазеров, удалось существенно расширить возможности традиционных интерференционных методов для измерения субангстремных перемещений [1—3], исследования дина­мики тепловых деформаций [4] и др.
В литературе, например [5, 6], неоднократно обсуждалась возмож­ность применения лазерных интерференционных устройств для измере­ния профиля поверхности. Интерес к этой проблеме обусловлен тем, что существующие методы измерения профиля имеют в настоящее время огра­ниченное применение либо вследствие остаточного воздействия измерительного наконечника на исследуемый объект, ограниченной скорости записи и трассы профилографирования, необходимости калибровки (щуповые ме­тоды), либо вследствие ограниченной чувствительности и пространственного разрешения (растровые, пневматические методы). Существующие оптиче­ские методы измерения микронеровностей поверхности не позволяют из­мерять волнистость и отклонение формы, а также не позволяют автомати­зировать процесс измерения [7].
В работах [5, 8] отмечается, что существующие традиционные методы измерения профиля поверхности практически достигли предела своих воз­можностей и дальнейший прогресс в этой области возможен только при использовании качественно новых методов измерения, одним из которых является метод лазерной микроинтерферометрии, достаточно хорошо развитый применительно к измерению малых перемещений. На основании анализа данных работ [5, 6, 8] можно сделать вывод о том, что лазерный интерференционный профилограф может сочетать в себе точность и чув
ствительность оптических методов измерений (до единиц ангстрем), простран­ственное разрешение, присущее щуповым методам (1—2 мкм) при высокой скорости и практически неограниченной трассе записи.
Возможность применения микроинтерферометров для исследования профиля поверхности обусловлена тем, что методически измерение профиля аналогично измерению малых перемещений. Действительно, движение поверхности сложной формы в плоскости, перпендикулярной оси измеритель­ного пучка, также приводит к изменению длины измерительного луча ин­терферометра. Однако имеются и существенные особенности, связанные с необходимостью представления результатов измерения непосредственно в виде профиля поверхности, с обеспечением высокого пространственного разрешения, с учетом влияния свойств исследуемой поверхности и с дру­гими факторами.
В работах [3, 4,12 ], посвященных созданию лазерного микроинтерфе­рометра, были описаны конструкция микроинтерферометра с высоким прост­ранственным разрешением и система цифровой обработки информации о целой и дробной доле интерференционной полосы. Тем самым были созданы необходимые предпосылки для разработки лазерного интерференционного
профилографа.

Полное содержание статьи: http://www.mathnet.ru/links/ed88e8c61e1afc7990a79e8507860dc7/qe8808.pdf

Рекомендуем для Вас

Leave a comment

You must be logged in to post a comment.


© Интернет журнал "ЛАЗЕРНЫЙ МИР", 2019
Напишите нам:
laser.w@yandex.ru

Back to Top