Лазерный мир

Шаблоны литографии

Современное оборудование для производства полупроводников, предназначенное для Китая, еще не было отправлено после того, как представители правительства США оказали давление на своих голландских коллег, чтобы заблокировать продажу системы литографии экстремальным ультрафиолетовым изучением (EUV), созданным ASML.

Согласно отчету Reuters, опубликованному 6 января, в котором сообщается, что отчет раскрывает новые подробности об обширных усилиях администрации Трампа, вызванных опасениями по поводу того, что Китай приобретет технологии, основанные на фотонике.

Оптика и лазеры

Включая мощные лазеры  от немецкого Trumpf, огромную отражающую оптику, предоставленную Zeiss, и алмазную оптику, разработанную II-VI, системы EUV стоят свыше 120 миллионов евро каждая — больше, чем некоторые самолеты, используемые для доставки их в ведущие мировые предприятия по производству полупроводников.

EUV может уменьшить размер деталей транзисторов и других устройств до беспрецедентного масштаба, а это означает, что микросхемы, изготовленные с использованием этой технологии, обеспечивают непревзойденную производительность с точки зрения скорости и сложности обработки.

Ожидается, что применение устройств с EUV-паттернами будет использоваться  в ключевых новых секторах, таких как связь 5G, искусственный интеллект и высокопроизводительные вычисления.

Среди основных клиентов ASML такие компании, как Intel и Samsung, а также тайваньский литейный завод TSMC. Еще летом 2017 года ASML заявил, что будет стремиться воспользоваться ожидаемым ростом расходов на литрографическое оборудование на 3 млрд. Евро со стороны новых производителей микросхем в Китае. Эти клиенты поддерживаются правительством Китая, которое ранее определило производство полупроводников в качестве ключевого стратегического приоритета.

Согласно истории Reuters, которая ссылается на несколько неназванных источников, чиновники правительства США начали свою «кампанию» после того, как власти Нидерландов предоставили ASML лицензию на продажу оборудования EUV покупателю в Китае.

Утверждается, что эти усилия завершились встречей с премьер-министром Нидерландов Марком Рютте в Белом доме в июле 2018 года, в ходе которой, как считается, старшие советники по вопросам безопасности поднимали этот вопрос.

Говорят, что Рутте был предоставлен разведывательный отчет со ссылкой на «потенциальные последствия» приобретения Китаем технологии ASML. После этого визита правительство Нидерландов не возобновило экспортную лицензию ASML, и согласно истории Reuters рассматриваемая система EUV все еще не была отправлена.

Порог 25%

Хотя правительство США может отказать отечественным компаниям в специальных лицензиях, необходимых им для продажи оборудования китайским клиентам, таким как Huawei, оно не может осуществлять такой прямой контроль над неамериканскими фирмами.

Однако, если более четверти стоимости высокотехнологичного оборудования иностранного производства составляют компоненты, произведенные в США, США могут потребовать лицензию на поставку этих продуктов в Китай.

Согласно Reuters, аудит, проведенный Министерством торговли США, показал, что произведенные в США компоненты в оборудовании EUV EUML упали ниже этого 25-процентного порога, что означает, что официальные лица США не могли напрямую блокировать продажу оборудования.

Вместо этого Белый дом, как утверждается, заставил голландских чиновников рассмотреть вопрос о продаже в контексте международных Вассенаарских договоренностей, целью которых является ограничение экспорта так называемых технологий «двойного назначения», с тем чтобы они не попадали в руки террористов или других плохих актеров. Китай не является участником соглашения.

Литографическое оборудование подпадает под правила Вассенаара, в частности, под рубрикой «3 — Электроника», и прямо упоминается технология EUV.

ASML никогда не упоминал о лицензии или каких-либо подробностях о продаже оборудования конкретным китайским компаниям. Компания имеет значительное присутствие в Китае, на ее предприятиях в Шанхае, Пекине и Шэньчжэне работают сотни людей.

В октябре прошлого года компания отнесла 7% своих квартальных продаж, что эквивалентно примерно 160 миллионам евро, клиентам в Китае.

Источник: https://optics.org/news/11/1/9