Лазерный мир

Она позволит дешевле и быстрее проводить исследование дефектов пластин, при этом не разрушая их

Систему автоматического бесконтактного контроля дефектов в полупроводниковых пластинах создали ученые Томского государственного университета (ТГУ). Разработка позволит дешевле и быстрее проводить исследование дефектов пластин, при этом не разрушая их, сообщили ТАСС в пресс-службе вуза.

Отмечается, что сейчас для контроля качества подложки, на которую устанавливаются сенсоры, используется разрушающий метод — DSL-травление пластины. При этом применяются агрессивные химические реактивы, которые разрушают подложку. Метод травления является недостаточно надежным инструментом для выявления дефектов структуры.

«Установка позволяет проводить бесконтактный неразрушающий контроль объемных и поверхностных дефектов в полупроводниковых пластинах. <…> Использование ИК-сканера, разработанного в ТГУ, обеспечит отбраковку некачественных пластин и тем самым будет способствовать повышению выхода годных пластин при изготовлении различных полупроводниковых приборов», — сказано в сообщении.

По словам одного из разработчиков, научного сотрудника лаборатории детекторов синхротронного излучения Центра ПТМ ТГУ Максима Скакунова, источником излучения служит оптическая система на основе полупроводникового ИК-лазера, спектральный диапазон которого соответствует характеристикам исследуемого материала.

«Принцип работы прибора основан на измерении пространственного распределения интенсивности инфракрасного излучения ближнего диапазона, проходящего через контролируемый объект», — приводятся в сообщении его слова.

Новый подход контроля продукции с использованием ИК-излучения позволит существенно сократить финансовые затраты и время на исследование дефектов в структуре пластин для интегральных микросхем.

«Прибор уже запущен в опытную эксплуатацию в АО «Научно-исследовательский институт приборостроения им. В. В. Тихомировича» (Москва). Предприятие является одним из ведущих в стране по производству приборов для ВПК и гражданской сферы. Так, в НИИП разрабатываются автоматические системы управления, диагностики и безопасности электропоездов и поездов метро», — сказано в сообщении.

Источник: https://nauka.tass.ru/nauka/19919977