Белорусские ученые разрабатывают лазер для фотолитографа «Планар»
3d-печать 19.02.2025 Комментарии к записи Белорусские ученые разрабатывают лазер для фотолитографа «Планар» отключеныОб этом сообщила журналистам ученый секретарь Института физики НАН Беларуси Екатерина Жарникова, передает корреспондент БЕЛТА.
«Последний год у нас идет разработка лазера высокой мощности с длиной волны 355 нм. Это будет лазер с поперечной и продольной накачкой. Нами проработан большой объем материала. Сейчас мы ведем работу над оптическими схемами. В ближайшее время планируем заняться разработкой усилителя для этого лазерного излучения. Данный лазер планируется использовать в системах фотолитографии (метод, широко используемый в микроэлектронике. — Прим. БЕЛТА), в частности, на производстве «Планара». Ранее они этот лазер закупали за рубежом. Сейчас мы создаем аналог этого лазера с теми параметрами, которые необходимы для производства», — сказала Екатерина Жарникова.
Ученые рассчитывают, что лазер будет хорошим импортозамещающим продуктом. Однако его разработка трудоемкая и требует времени. «Надеемся, что через 4-5 лет мы сможем предложить «Планару» нашу разработку», — отметила ученый секретарь.
Академик-секретарь отделения физики, математики и информатики НАН Беларуси Александр Шумилин отметил, что на разработку технологических лазеров в США ушли десятилетия, несмотря на то, что были затрачены очень существенные средства. Так что это процесс небыстрый. «У нас нет столько времени. Мы ставим задачу в течение пяти лет создать соответствующие лазеры, которые можно будет использовать в промышленности», — заключил он.