Китай работает над собственными EUV-машинами, производство намечено на 2026 год — TrendForce
Лазерные технологии, Новости науки и техники, Промышленные лазеры 11.03.2025 Комментарии к записи Китай работает над собственными EUV-машинами, производство намечено на 2026 год — TrendForce отключеныНесмотря на санкции американского правительства, китайская EUV-литография может быть намного ближе, чем кажется. По сообщению новостного портала TrendForce, новые литографические машины уже тестируются на заводе HUAWEI в Дунгуане.
Если испытания пройдут успешно, китайские аппараты EUV, использующие технологию лазерной плазменной обработки (LDP), будут запущены в пробное производство уже в третьем квартале 2025 года. А в следующем году планируют начать массовое производство.
Напомним, несколько лет назад голландскому полупроводниковому гиганту ASML запретили продавать передовые EUV-машины в Китай, сильно затормозив развитие его полупроводниковой промышленности. Президент и генеральный директор компании Кристоф Фуке (Christophe Fouquet) заявил, что введение подобных санкций должно привести к отставанию Поднебесной на 10–15 лет.
Однако китайские ученые из Харбинского инновационного центра упорно работали над решением проблемы и, похоже, нашли собственный способ генерации экстремально-ультрафиолетового лазерного излучения на основе разрядной плазмы. Таким образом они научились создавать излучение с длиной волны 13,5 нм, что соответствует требованиям современного рынка фотолитографии.
ASML использует метод LPP (лазерно-плазменной обработки), который основан на высокоэнергетических лазерах и сложных системах управления на базе FPGA. Оборудование, разработанное Китаем, отличается более простой конструкцией и высокой энергоэффективностью, а также более низкими производственными затратами.
