Способ лазерной резки слитков неметаллических материалов на пластины
Научная библиотека 08.04.2025 Комментарии к записи Способ лазерной резки слитков неметаллических материалов на пластины отключеныКондратенко Владимир Степанович // патент RU2829300C1
Изобретение относится к способам резки слитков неметаллических материалов, в частности карбида кремния, кремния, арсенида галлия, германия, сапфира и других хрупких неметаллических материалов, на пластины. Техническим результатом является повышение качества резки неметаллических материалов на пластины. Заявлен способ лазерной резки слитков неметаллических материалов на пластины, согласно которому в объеме образца неметаллического материала создают надрез сфокусированным лазерным излучением, а затем поверхность слитка нагревают лазерным излучением, для которого материал непрозрачен, при относительном перемещении лазерного пучка и образца материала. При этом надрез создают со стороны торца образца неметаллического материала сфокусированным лазерным излучением с длиной волны, для которого материал прозрачен, в виде последовательно размещенных вдоль линии реза локальных концентраторов напряжений на глубине, равной толщине отрезаемой пластины. Нагрев со стороны поверхности образца неметаллического материала осуществляют путем сканирования пучком лазерного излучением, плотность мощности и линейную скорость перемещения которого выбирают из условия создания напряжений растяжения, превышающих предел прочности материала на растяжение, на глубине образца материала, равной заданной толщине отрезаемой пластины.
Полное содержание на https://rusneb.ru/catalog/000224_000128_0002829300_20241030_C1_RU/
