Лазерная регистрация изображений сверх оптического разрешения
Нвости партнеров, Новости науки и техники 07.10.2016 Комментариев к записи Лазерная регистрация изображений сверх оптического разрешения нетНаправление исследований Международной лаборатории «Лазерных микро- и нанотехнологий»:
Воздействие лазерного излучения на пленки и лазерная термохимия (лазерное испарение ТМП, окисление ТМП, окисление поверхности металлов и сплавов) с целью записи дифракционных элементов, цветной маркировки и регистрации интерферометрических картин.
Одним из наиболее перспективных методов лазерной литографии является термохимический, основанный на локальном лазерном окислении тонкой металлической пленки с последующим травлением не облученной области. Однако до настоящего времени не определены пределы разрешающей способности этого метода, что принципиально ограничивает диапазон его возможных применений. Проведены теоретические исследования лазерного окисления, построена физико-математическая модель, описывающая лазерное окисление тонкой пленки хрома остросфокусированным сканирующим лазерным пучком при различных режимах воздействия. Экспериментально подтверждено, что разрешающая способность термохимического изображения на тонких пленках хрома в режиме записи сканирующим пучком непрерывного излучения превышает разрешающую способность термического изображения и при диаметре облученной области 0,2 мкм составляет 0,6 мкм-1 и выше. На данный момент проводятся исследования возможностей термохимической записи на тонких пленках титана, что позволит отказаться от операции травления и создать одностадийную технологию лазерной термохимической записи информации.
Подробнее об исследовании Лазерная регистрация изображений сверх оптического разрешения
Leave a comment
You must be logged in to post a comment.