Перспективные лазеры среднего ИК-диапазона на кристаллах соединений A2B6 с ионами переходных металлов

Научная библиотека Комментарии к записи Перспективные лазеры среднего ИК-диапазона на кристаллах соединений A2B6 с ионами переходных металлов отключены

Лазарев Владимир Алексеевич // карточка Конкурса 2017 года по мероприятию «Проведение исследований научными группами под руководством молодых ученых» Президентской программы исследовательских проектов, реализуемых ведущими учеными, в том числе молодыми учеными

Аннотация

Лазеры среднего ИК диапазона (2-5 мкм) имеют широкие применения в лазерной локации в атмосфере, высокоразрешающей спектроскопии, метрологии, мониторинге загрязнения окружающей среды, медицине, биологии и системах противодействие террористической угрозе летательным аппаратам. В этой области имеется ряд перспективных разработок, которые, однако, обладают существенными недостатками. Газовые DF/HF – лазеры довольно громоздки, используют токсичные газы, их длина волны излучения меньше 4 мкм. СО – лазеры имеют те же недостатки, а длина волны излучения превышает 5 мкм. Квантово-каскадные лазеры основываются на высоком уровне эпитаксиальной технологии, которая в России практически отсутствует. Кроме того на этих лазерах трудно получить импульсы высокой энергии. Оптический параметрический генератор все еще недостаточно надежен. Относительно новым перспективным классом лазеров являются лазеры на кристаллах соединений А2В6 с ионами переходных металлов, которые в настоящее время еще далеки от коммерческого использования. Предлагаемый проект направлен на решение проблем создания малогабаритных эффективных и надёжных лазеров среднего ИК диапазона (2-5 мкм). Данный диапазон в принципе перекрывается перестраиваемыми лазерами на кристаллах Cr2+:CdSe, Cr2+:ZnSe и Fe2+:ZnSe. Однако для реализации высокой эффективности и надежности этих лазеров имеются проблемы с качеством анизотропного кристалла Cr2+:CdSe (наличие малоугловых границ между слабо разориентированными блоками), высоким френелевским отражением от оптических поверхностей кристаллов и существенным снижением лучевой прочности при использовании просветляющих покрытий. Для достижения поставленной цели и решения перечисленных проблем в проекте будет решаться следующий комплекс задач теоретического и прикладного характера. 1. Исследование и оптимизация ростовых условий анизотропного кристалла Cr2+:CdSe с целью уменьшения угла разориентации между блоками кристалла и получения концентрации легирующей примеси на уровне (1 – 5)×1018 см-3. 2. Выращивание кристаллов Cr2+:CdSe с улучшенными характеристиками (укрупнённые блоки, малые углы разориентации между блоками, повышенная концентрация легирующей примеси), а также кристаллов Cr2+:ZnSe и Fe2+:ZnSe для проведения экспериментов по формированию просветляющего микрорельефа на рабочих поверхностях кристаллов. 3. Разработка наиболее эффективного способа просветления рабочих граней лазерных кристаллов среднего ИК-диапазона путем создания микрорельефа на этих гранях. Для этого будут исследованы различные подходы: — создание микрорельефа путем прямой лазерной абляцией фемтосекундными импульсами при сканировании лазерного пучка по поверхности грани кристалла; — создания микрорельефа широкоапертурной абляцией с помощью интерференционной картины, формируемой излучением мощного эксимерного лазера; — нанесение и обработка масок на основе титановых плёнок с последующим травлением в атмосфере метана для создания просветляющего микрорельефа; — формообразования маски с помощью высаживания коллоидных частиц с последующим вытравливанием микрорельефа на рабочих гранях кристаллов. 4. Проведение исследований оптических характеристик выращенных кристаллов, а также кристаллов с микрорельефом для создания перспективных энергоэффективных лазеров среднего ИК-диапазона. 5. Создание высокоэффективных лазеров среднего ИК-диапазона на кристалле Cr2+:CdSe, выращенном при оптимальных условиях, а также лазеров на кристаллах Cr2+:CdSe, Cr2+:ZnSe и Fe2+:ZnSe с просветленными гранями. 6. Исследование характеристик созданных лазеров, в частности лучевой прочности активных кристаллов и других оптических элементов, что определяет надежность работы лазера. Решение указанных задач позволит создать новые высококачественные монокристаллы Cr2+:CdSe, а также кристаллы Cr2+:CdSe, Cr2+:ZnSe и Fe2+:ZnSe с просветлёнными рабочими гранями и высокой лучевой прочностью, что позволит существенно увеличить мощность, эффективность и надежность лазеров, плавно перестраиваемых в среднем ИК диапазоне (2-5 мкм). Такие лазеры найдут широкое применение в биомедицине, томографии, оптике атмосферы, спектроскопии стандартах частоты и оптике аттосекундных импульсов. Реализация проекта направлена на развитие лаборатории стабилизированных лазерных систем научно-образовательного центра «Фотоника и ИК-техника» под руководством молодого учёного канд. техн. наук Лазарева В. А., которая открыта в феврале 2017 года. В состав лаборатории вошли 2 аспиранта и 6 студентов (средний возраст сотрудников 23,5 года). Проект направлен на развитие научной карьеры молодых ученых, формирование исследовательской команды высоко уровня, расширение горизонтов сотрудничества с молодыми учёными ФИАН, ИФТТ РАН, ИОФ РАН и – на международном уровне – с группой проф. П. Лапорта Миланского политехнического института.

Ожидаемые результаты

В результате выполнения данного проекта предполагается: 1) существенно улучшить качество анизотропного кристалла Cr:CdSe, а именно уменьшить углы малой разориентации до 0.1 градуса и менее при концентрации ионов Cr в диапазоне (1…5)·10^18 см^(-3); 2) разработать наиболее эффективную технологию формирования просветляющего микрорельефа на оптических гранях активных кристаллов Cr:CdSe, Cr:ZnSe и Fe:ZnSe; 3) существенно улучшить эффективность лазеров Cr:CdSe при мощной накачке, когда объем возбуждения превышает объем отдельных слаборазориентированных блоков; 4) реализовать широкополосное просветление рабочих граней активных кристаллов до уровня менее 2 % по отражению и рассеянию в области перестройки лазера; 5) повысить лучевую прочность просветленных граней до уровня естественных граней кристалла; 6) повысить полную эффективность лазера Cr:CdSe и увеличить надежность его работы до уровня, близкого к теоретическому пределу: – получить предельную эффективность лазера (примерно 60 %) путем уменьшения потерь накачки и потерь резонатора, использовав просветление поверхностей активного элемента; – увеличить ширину перестройки лазера за счет использование широкополосного микрорельефного просветления (по сравнению с пленочным антиотражающем покрытием), достигнуть диапазон перестройки от 2.1 до 3.5 мкм; – увеличить мощность излучения вплоть до 5 Вт путем использования мирорельефного просветления с большей лучевой прочностью по сравнению с пленочным антиотражающим покрытием; 7) разработать дисковый лазер на кристалле Cr^(2+):ZnSe с просветляющим микрорельефом на рабочих гранях: – микрорельеф создается на поверхности кристалла, обратной накачиваемой, сильно рассеивающий излучение накачки внутри кристалла, так что не нужно использовать многопроходную систему накачки; – поверхность кристалла просветляется для генерируемого излучения; – дисковый вариант позволяет избавиться от тепловой линзы; – ожидается генерация с непрерывной мощностью 1 Вт на длине волны 2,4 мкм. Ожидаемые результаты являются новыми и соответствуют мировому уровню исследований. Отдельные опубликованные работы по лазерам Cr:CdSe выполнены при участии членов коллектива данного проекта. У нашей научной группы есть доступ к уникальным монокристаллам халькогенидов, каких нет нигде в мире. В опубликованных нашей группой работах высокая эффективность достигается лишь в маломощных лазерах, в которых область возбуждения меньше размера отдельных слабо разориентированных блоков. В лазерах Сr:ZnSe использовался ранее просветляющий микрорельеф (см. работы Мирова С. с сотрудниками). Однако использовалась сложная технология с использованием фотолитографии, которая не нашла широкого применения. Отметим также, что на поликристаллическом образце труднее создать однородный рельеф на большой площади. Что касается лазеров Fe:ZnSe, то микрорельеф до сих пор не использовался для просветления поверхностей активного кристалла. Значимость данного проекта подтверждается также интересом к проекту Миланского политехнического института, с которым заключено соглашение о совместной работе по совершенствованию данного типа лазеров. Ожидаемые результаты проекта позволят перейти к разработке различных приборов и устройств на основе лазеров Cr:CdSe, Cr:ZnSe и Fe:ZnSe. Эти приборы и устройства могут быть использованы в биомедицине, томографии, оптике атмосферы, спектроскопии, стандартах частоты и оптике аттосекундных импульсов. Реализация проекта направлена на развитие новой лаборатории стабилизированных лазерных систем научно-образовательного центра «Фотоника и ИК-техника» под руководством молодого учёного канд. техн. наук Лазарева В. А., которая открыта в феврале 2017 года. В состав лаборатории вошли 2 аспиранта и 6 студентов. Проект направлен на развитие научной карьеры молодых ученых, формирование исследовательской команды высокого уровня, на расширение горизонтов сотрудничества с Физическим институтом им. П. Н. Лебедева РАН, ИФТТ РАН и – на международном уровне – с группой проф. П. Лапорта Миланского политехнического института.


 

ОТЧЁТНЫЕ МАТЕРИАЛЫ


Аннотация результатов, полученных в 2017 году
1. Проведено три ростовых процесса кристаллов CdSe:Cr, средний диаметр блока получился порядка 1-2 мм, концентрации легирующей примеси на уровне (1…2)×1018 см-3. Проведен дополнительный послеростовой отжиг для уменьшения концентрации свободных электронов. Измерен спектр пропускания выращенных кристаллов. 2. Проведено два ростовых процесса кристаллов ZnSe:Cr, партия № AL-133, размер 5×1,5×5 мм3, 2 шт. Измерен спектр пропускания выращенных кристаллов. 3. Разработан способ создание просветляющих микроструктур на рабочих гранях лазерных кристаллов путем прямой лазерной абляции на базе фемтосекундной лазерной технологической установки FemtoLab. Подобран оптимальный режим обработки со следующиим параметрами: длина волны 512 нм; частота повторения импульсов 200 кГц; средняя оптическая мощность: 8-15 мВт – для монокристалла CdSSe; 1–6 мВт – для монокристалла ZnSe; объектив для фокусировки NA0,5 100×. 4. Получены образцы нелегированных кристаллов CdSSe и ZnSe с микроструктурированными рабочими гранями путем прямой лазерной абляции, параметры структур: период 0,9-1,1 мкм, глубина 1,5 мкм, пропускание плоскопараллельной пластины кристаллов CdSSe / ZnSe на уровне 82 % для длин волн в районе 2,6 мкм. 6. Проведены эксперименты по плазменному травлению кристаллов Cr2+:CdSe и других соединений А2В6 в потоке метана, водорода и их смеси через маски, сформированные на базе: 1) титановой плёнки; 2) SiO2-плёнки; 3) путем высаживания сферических частиц диоксида кремния; 4) созданием «инвертированной структуры» диоксида кремния; 5) с использованием интерфейсных аберраций для увеличения продольного размера перетяжки гауссова пучка. Определены оптимальные параметры процесса травления: температура образца 150–400 °С (в зависимости от типа кристалла (для СdSe необходима температура меньшая, чем для ZnSe); равновесное давление в ампуле 0,2 торр; время травления один час.

 

Публикации

1. Физики разработали лазер для изучения атмосферы и медицины Chrdk, 14.11.2017 (год публикации — ).
2. Физики создали более эффективный лазер для медиков и геологов Полит.ру, 17 ноября 2017, 10:13 лазер физика (год публикации — ).
3. Физики создали более эффективный лазер для медиков и геологов газета.ру, 17.11.2017 | 13:38 (год публикации — ).
4. T. T. Fernandez, M. K. Tarabrin, Yu. Wang, V. A. Lazarev, S. O. Leonov, V. E. Karasik, Yu. V. Korostelin, M. P. Frolov, Yu. P. Podmarkov, Ya. K. Skasyrsky, V. I. Kozlovsky, C. Svelto, P. Maddaloni, N. Coluccelli, P. Laporta, and G. Galzerano Thermo-optical and lasing characteristics of Cr2+-doped CdSe single crystal as tunable coherent source in the mid-infrared OPTICAL MATERIALS EXPRESS, Vol. 7, Issue 11, pp. 3815-3825 (год публикации — 2017).
5. М. К. Тарабрин, А. А. Бушунов, В. А. Лазарев, В. Е. Карасик, В. И. Козловский, Д. И. Свиридов, Ю. В. Коростелин, М. П. Фролов, Я. К. Скасырский Fabrication of anti-reflection microstructures on znse single crystal by using femtosecond laser pulses Сборник научных трудов XXVIII Международной конференции «Лазеры в науке, технике, медицине», Том 28, стр. 62-65 (год публикации — 2017).
6. Тарабрин М. К., Лазарев В. А. Томилов С. М., Карасик В. Е., Тучин В. В. Broadband tunable mid-IR Cr2+:CdSe lasers for medical applications Proc. SPIE 10717, Saratov Fall Meeting 2017: Laser Physics and Photonics XVIII; and Computational Biophysics and Analysis of Biomedical Data IV, Proc. SPIE 10717, paper 1071707 (год публикации — 2018).

Аннотация результатов, полученных в 2018 году

1. Проведена оптимизация ростовых условий кристалла Cr2+:CdSe В ходе второго этапа проекта проведены три ростовых процесса кристаллов CdSe:Cr с уменьшенной линейной плотностью малоугловых границ, при которых выращивание монокристаллов проводилось на затравку, площадь которой значительно меньше площади поперечного сечения выращиваемого кристалла, а рост кристалла происходил как в нормальном, так и в радиальном направлении. За счет этого в разращиваемой в радиальном направлении области кристалла не происходило наследования структурных дефектов из затравки и тем самым снижается их плотность. Таким образом, соответствующий подбор затравки обеспечил разращивание блоков кристалла CdSe:Cr до требуемых значений порядка 2 мм с целью дальнейшей реализации в ходе третьего этапа проекта лазерной установки по схеме с установкой кристалла под углом Брюстера. 2. Выбор и обоснование оптимального способа просветления рабочих граней кристаллов Cr:CdSe, Cr;ZnSe путем их микростуктурирования В ходе третьего этапа проекта проведен анализ всех опробованных способов просветления граней кристаллов Cr:CdSe, Cr;ZnSe путем их микростуктурирования и выбран способ с прецизионной фокусировкой в толще образца. Изготовлен образец кристалла с микроструктурированной поверхностью, проведено измерение геометрии её профиля на сканирующей электронном микроскопе, а также проведено измерение спектра пропускания. Максимум пропускания в этом случае достиг теоретического предела 100% на длине волны 5 мкм, со средним значением пропускания 97% в диапазоне длин волн от 2,7 до 10 мкм. 3. Лабораторные макеты лазеров среднего ИК-диапазона с улучшенными энергетическими характеристиками. Проведено измерение времени жизни верхнего состояния Cr2+ в зависимости от температуры. Собран лабораторный макет Cr:CdSe лазера. Детально изучены тепловые эффекты в лазере, связанные с тушением люминесценции пи повышении температуры и тепловой линзой, компенсация которых позволила получить мировой рекорд выходной мощности в непрерывном режиме для данного типа лазеров. При продольной накачке непрерывным волоконным тулиевым лазером на длине волны 1,908 мкм, мощность Cr:CdSe лазера составила 2,3 Вт на длине волны 2,65 мкм с КПД по поглощенной мощности накачки 47,6%.

 

Публикации

1. Программа «Наука»: физика лазера Россия 24, 03.12.2018 (год публикации — ).
2. Как пропустить 100% света Журнал «Стимул», 16.04.2019 (год публикации — ).
3. Физики смогли получить поверхность кристалла, не отражающую свет Газета.Ru, 29.03.2019, 19:03 (год публикации — ).
4. Физики из России создали кристалл, не отражающий свет Вести.Ру, 30.03.2019, в 00:34 (год публикации — ).
5. Лазер помог физикам из России создать абсолютно прозрачный кристалл РИА Новости, 29.03.2019, в 11:32 (год публикации — ).
6. Российские ученые нашли способ удешевить интернет-оборудование Деловая газета «Взгляд», 29.03.2019, в 12:34 (год публикации — ).
7. Получена поверхность кристалла, не отражающая свет Indicator.Ru, 29.03.2019 (год публикации — ).
8. Андрей А. Бушунов, Михаил К. Тарабрин, Владимир А. Лазарев, Валерий Е. Карасик, Юрий В. Коростелин, Михаил П. Фролов, Ян К. Скасырский и Владимир И. Козловский Fabrication of anti-reflective microstructures on chalcogenide crystals by femtosecond laser ablation Optical Materials Express, Vol. 9, Issue 4, pp. 1689-1697 (год публикации — 2019).
9. В. А. Лазарев Перспективные твердотельные лазеры среднего ИК-диапазона Лазеры в науке, технике, медицине: Сборник трудов., Лазеры в науке, технике, медицине: Сборник трудов. Том 29. (год публикации — 2018).
10. Михаил К. Тарабрин, Андрей А. Бушунов, Владимир А. Лазарев, Валерий Е. Карасик, Дмитрий Е. Свиридов, Юрий В. Коростелин, Ян К. Скасырский, Михаил П. Фролов и Владимир И. Козловский Fabrication of broadband antireflection microstructures on ZnSe single crystal for mid-IR applications OSA Technical Digest (Optical Society of America, 2018), paper AM6A.13 (год публикации — 2018).
11. Михаил К. Тарабрин, Дмитрий В. Устинов, Сергей М. Томилов, Владимир А. Лазарев, Валерий Е. Карасик, Владимир И. Козловский, Юрий В. Коростелин, Ян К. Скасырский и Михаил П. Фролов Highly efficient continuous wave single mode Cr:CdSe laser with output power more than 2 W OSA Technical Digest (Optical Society of America, 2018), paper AW3A.8 (год публикации — 2018).
12. Михаил К. Тарабрин, Дмитрий В. Устинов, Сергей М. Томилов, Владимир А. Лазарев, Валерий Е. Карасик, Владимир И. Козловский, Юрий В. Коростелин, Ян К. Скасырский и Михаил П. Фролов High-efficiency continuous-wave single-mode room-temperature operation of Cr:CdSe single-crystal laser with output power of 2.3 W Optics Express, Vol. 27, Issue 9, pp. 12090-12099 (год публикации — 2019).

Аннотация результатов, полученных в 2019 году

1. Создан макет лазера на кристалле Cr2+:CdSe с высокой средней оптической мощностью в непрерывном режиме: – средняя оптическая мощность 0,44 Вт на длине волны вблизи 3 мкм; – осуществление непрерывной перестройки длины волны лазера фильтрами Лио в диапазоне 2,56 – 3,30 мкм. 2. Разработан способ нанесения микуроструктур на лазерные кристаллы с прецизионной фокусировкой в толще образца со сдвигом максимума пропускания в коротковолновую область: от 2,5 до 3,5 мкм. Способ просветления оптических поверхностей основан на их микроструктурирования путем нанесения микроотверстий за счет прмой фемтосекундной лазерной абляции материала. С помощью разработанного способа а пластинке CdS0,5Se0,5 получено максимальное пропускание практически 100 % на длине волны порядка 5 мкм, с помощью прецизионной фокусировки излучения под поверхность кристалла удалось увеличить глубину микроструктур и достичь теоретического максимума пропускания, а также сместить коротковолновую границу пропускания до 2,5 мкм. 3. Получены образцы легированных лазерных кристаллов Cr:CdSe с нанесенными микуроструктурами посредством оптимизированного способа с прецизионной фокусировкой: получено пропускание на длине волны 2,3 мкм 99 % (из расчет на одной границе материал-воздух). 4. Собран макет лазера на кристалле Cr2+:CdSe с просветленными рабочими гранями за счет их микроструктурирования, однако провести запланированные исследования энергетических характеристик макета лазера не удалось в связи с объективными обстоятельствами. 5. Получены пластины As2S3 с нанесенными микроструктурами, которые позволили увеличить пропускание в диапазоне длин волн от 2,5 до 10 микрометров, при этом на длине волны 3 мкм наблюдается прирост пропускания порядка 10 %. Также в ходе проекта по заказу компании Art Photonics Gmbh проведены исследования по просветлению торцев волоконных световодов ArCl0,25Br0,75 для доставки излучения CO2-лазера: увеличение пропускания после нанесения микроструктуры наблюдается в диапазоне длин волн от 8 до 13 микрометров, максимум пропускания находится на отметке 92 %. В ходе проекта удалось решить задачу просветления торцев нелинейного кристалла GaSe, широко использующегося в оптических параметрических генераторах и усилителях: увеличение пропускания после нанесения микроструктуры, наблюдается в диапазоне длин волн от 4 до 14 микрометров, при этом в диапазон 5,5 – 10,5 мкм пропускание составляет 92 %. 6. Собран макет непрерывного лазера на кристалле Cr:CdSe с уменьшенной линейной плотностью малоугловых границ по схеме с расположением под углом Брюстера, однако провести запланированные исследования энергетических характеристик лазера на не удалось в связи с объективными обстоятельствами. 7. В ходе работы над тулиевым волоконным фемтосекундным лазером (перспективный источник сверхкоротких импульсов среднего ИК-диапазона для выполнения работы после продления проекта) выполнено исследование быстродействия фотодиода с фронтальным воздушным мостиковым контактом для детектирования импульсов в среднем ИК-диапазоне совместно с ФТИ им. Иоффе (полоса 3,6 ГГц).

 

Публикации

1. Физики сконструировали тулиевый лазер для детекторов газа Индикатор, 29.12.2019, 12:10 (год публикации — ).
2. Ученые сконструировали тулиевый лазер для детекторов газа Газета.Ру, 27.12.2019, 17:46 (год публикации — ).
3. А. Бушунов, М. Тарабрин, В. Лазарев Numerical calculation of asymmetric antireflection microstructures spectral transmission dependency on polarization Journal of Physics: Conference Series, Vol. 1348 (год публикации — 2019).
4. Андрей А. Бушунов, Андрей А. Тесленко, Михаил К. Тарабрин, Владимир А. Лазарев, Геннадий Е. Снопатин, Василий В. Колташев, Виктор Г. Плотниченко As2S3 Glass Mid-IR Transmission Enhancement with Femtosecond Laser Treatment CLEO USA, — (год публикации — 2020).
5. Андрей А. Бушунов, Андрей А. Тесленко, Михаил К. Тарабрин, Владимир А. Лазарев, Людмила. И. Исаенко, Александр. П. Елисеев и С. И. Лобанов Fabrication of antireflection microstructure on the surface of GaSe crystal by single pulse femtosecond laser ablation Optics Letters, — (год публикации — 2020).
6. Андрей А. Бушунов, Михаил К. Тарабрин и Владимир А. Лазарев Review of surface modification technologies for mid-infrared antireflection microstructures fabrication Laser & Photonics Reviews, — (год публикации — 2020).
7. Андрей А. Бушунов, Михаил К. Тарабрин, Владимир А. Лазарев, Валерий Е. Карасик, Юрий В. Коростелин, Михаил П. Фролов, Ян К. Скасырский и Владимир И. Козловский Anti-reflection microstructures for 2-6 µm range fabricated with direct fs laser ablation Frontiers in Optics + Laser Science APS/DLS, The Optical Society (Optical Society of America, 2019), paper JTu3A.22, Frontiers in Optics + Laser Science APS/DLS, The Optical Society (Optical Society of America, 2019), paper JTu3A.22 (год публикации — 2019).
8. Дмитрий Власов, Глеб Коновалов, Игорь Андреев, Юрий Яковлев, Василий Воропаев, Александр Донодин, Михаил Тарабрин, Даниил Батов, Владимир Лазарев и Валерий Карасик Speed characterization of p–i–n photodiode based on GaSb/GaInAsSb/GaAlAsSb heterostructure with frontal bridge contact for 0.9 – 2.4 μm spectral range Applied Optics, — (год публикации — 2020).
9. Исаенко Л.И., Лазарев В.А., Тарабрин М.К,, Бушунов А.А. Тесленко А.А. Елисеев А.П., Лобанов С.И., Голошумова А.А,, Курусь А.Ф. Создание антиотражающей микроструктуры на поверхности кристаллов GaSe фемтосекундной лазерной абляцией Фундаментальные проблемы современного материаловедения, Том 16, выпуск 4 (год публикации — 2019).
10. Тарабрин М.К., Назаров Д.А., Лазарев В.А Непрерывный перестраиваемый в диапазоне 2,1 – 2,3 мкм лазер для медицинских применений Лазеры в науке, технике, медицине: Сборник научных трудов, Том 30 (год публикации — 2019).
11. Шелковников А. С., Тарабрин М. К., Лазарев В. А., Томилов С. М., Киреев А. Н. Сканирующий моноблочный интерферометр Фабри-Перо -, RU2019100131A (год публикации — ).
Полное содержание — https://www.rscf.ru/contests/search-projects/17-79-20431/

Рекомендуем для Вас


© Интернет журнал "ЛАЗЕРНЫЙ МИР", 2019
Напишите нам:
laser.w@yandex.ru

Back to Top